Optical fiber-based sensor for in situ monitoring of cadmium sulfide thin-film growth

(в электронном виде)

Волоконный датчик для онлайн-мониторинга роста тонких пленок сульфида кадмия.

Optical fiber-based sensor for in situ monitoring of cadmium sulfide thin-film growth
Авторы: Farzia Karim, Tanujjal Bora, Mayur B. Chaudhari, Khaled Habib, Waleed S. Mohammed, and Joydeep Dutta
Источник: Optics letters, Vol.38, No.24, pp.5385-5388 (2013)

Данная работа представляем схему для онлайн-мониторинга роста тонких пленок. Волоконно-оптический датчик на основе интерферометра Фабри-Перо было установлен в первый раз, чтобы контролировать рост тонких пленок. Он применялся для определения толщины тонких пленок сульфида кадмия (CDS) в процессе роста. Процесс изготовления пленок CdS проводился в растрове в 30mMcadmiumacetate и тиоацетамида при температуре 60 гр. Ориентировочная толщина, определенная в процессе роста, была проверена с помощью сканирующего электронного микроскопа. Это исследование показывает, что онлайн-измерение толщины тонких пленок осуществимо на этой новой технологии, а также было достигнуто близкое соответствие с расчетной толщиной.