Стойкие к оптическому излучению дифракционные решетки для использования в лазерных резонаторах

(в электронном виде)

Стойкие к оптическому излучению дифракционные решетки для использования в лазерных
Источник: Кв.электроника, т.21, №3, стр.250-252 (1994)
Авторы: А.С.Свахин, В.А. Сычугов, А.Е.Тихомиров

Предложен новый подход к созданию эффективных дифракционных решеток отражательного типа с высокой стойкостью к падающему оптическому излучению. Экспериментально реализованная дифракционная решетка с эффективностью 64% использована в резонатора ИАГ:Nd3+ - лазера с модулированной добротностью. Продемонстрирована стойкость решеток к воздействию импульсного оптического излучения вплоть до плотности мощности 180 МВт/см2. Обсуждены возможности применения таких элементов при больших углах падения излучения для повышения спектральной селективности.

Использовались диэлектрические зеркала TiO2/SiO2, практически полностью отражающие излучения с дл.вол. = 1.06мкм под углом падения 45гр. На поверхность зеркла напылялся слой SiO2 толщиной 0.7 мкм (толщина выбиралась, чтобы попасть в максимум на рис.2). Решетка с периодом 0.685 мкм записывалась голографическим методом в слое фоторезиста СК-151МК, нанесеном на поверхность зеркала. Фоторезистивный рельеф затем переносился в поверхностный слой SiO2 путем реактивного ионного травления в атмосфере фреона CF4. В процессе травления использовалась система контроля дифракционной эффективности, позволяющая отслеживать во времени изменение отношения интенсивностей дифрагировавшего и отрраженного от поверхности решетки излучения.

Т.о. получена высокая эффективность на решетках с малой глубиной гофра и простой формы (альтернатива использованию глубоких гофров или сложных решеток с блеском). Дифр.эффективность в 64% получили