(в электронном виде)
Fabrication of microprisms for planar optical interconnections by use of analog gray-scale lithography with high-energy-beam–sensitive glass
Авторы: Christiane Gimkiewicz, Detlev Hagedorn, Ju¨ rgen Jahns, Ernst-Bernhard Kley, and
Frank Thoma
Источник: Appl.Opt., v.38, N.14, p.2986-2990 (1999)
Для интегрированной системы оптических межсоединений в свободном пространстве мы предлагаем использовать микропризмы для достижения больших углов связи при низких потерях. Призмы были изготовлены в фоторезисте и кварцевом стекле методом аналоговой литографии. Стекла, чувствительные к пучкам с высокой энергией, использовались в качестве маски с серыми тонами. Оптическое тестирование призм показывает приемлемое качество поверхности и высокую эффективность порядка 95%.
Fabrication of microprisms for planar optical interconnections by use of analog gray-scale lithography with high-energy-beam–sensitive glass
Авторы: Christiane Gimkiewicz, Detlev Hagedorn, Ju¨ rgen Jahns, Ernst-Bernhard Kley, and
Frank Thoma
Источник: Appl.Opt., v.38, N.14, p.2986-2990 (1999)
Для интегрированной системы оптических межсоединений в свободном пространстве мы предлагаем использовать микропризмы для достижения больших углов связи при низких потерях. Призмы были изготовлены в фоторезисте и кварцевом стекле методом аналоговой литографии. Стекла, чувствительные к пучкам с высокой энергией, использовались в качестве маски с серыми тонами. Оптическое тестирование призм показывает приемлемое качество поверхности и высокую эффективность порядка 95%.
Комментариев нет:
Отправить комментарий