Resonant grating-waveguide structures for visible and near-infrared radiation

(в бумажном виде)

Resonant grating-waveguide structures for visible and near-infrared radiation

Авторы: A.Sharon, D.Rosenblatt, A.A.Friesem

Источник: JOSA A, vol.14, No.11, pp.2985-2993 (1997)

В статье представлена новая лучевая модель, основанная на многолучевой интерференции световых волн в диэлектрических резонансных решеточно-волноводных структурах. Модель разъясняет, что именно фазовое отношение между падающей плоской волной и волнами, дифрагированными от резонансной решеточной структуры, отвечает за интерференцию этих волн. В результате этой интерференции падающая волна может полностью отразиться при некоторой длине волны и угле падения. Модель описывает и анализирует это резонансное поведение решеточно-волноводных структур как функцию от длины волны и угла падения.

Анализ проверен экспериментально для полупроводниковых (InGaAsP/InP) структур на длине волны 1.55мкм, а также для диэлектрических (нитрид кремния/SiO2) структур на длине волны 0.6мкм. Все эти структуры были изготовлены при помощи электронно-лучевой литографии и химического осаждения. Измеренные результаты показывают, что субнанометровые резонансные ширины полос более 6000 могут быть достигнуты при отношениях контраста 50 в относительно компактных структурах

Остальные рисунки далее.